本專題涉及硅氧碳的標準有5條。
國際標準分類中，硅氧碳涉及到化工產品、太陽能工程、半導體材料。
在中國標準分類中，硅氧碳涉及到太陽能、氧化物、單質。
國家質檢總局，關于硅氧碳的標準GB/T 32281-2015 太陽能級硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的測定 二次離子質譜法
美國材料與試驗協會，關于硅氧碳的標準ASTM C1494-2013 氨化硅粉末中碳、氮和氧的質量分數測定的標準試驗方法
ASTM C1494-2001(2007) 氨化硅粉末中碳、氮和氧的質量分數測定的標準試驗方法
德國標準化學會，關于硅氧碳的標準DIN V VDE V 0126-18-6-2007 太陽能硅片.第6部分:光電器件用硅中代位碳原子和間隙氧含量的測量方法
，關于硅氧碳的標準GOST 26239.7-1984 半導體硅.氧、碳、氮測定法

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